【文档说明】LED工艺流程.pptx，共(48)页，3.717 MB，由精品优选上传

转载请保留链接：https://www.ichengzhen.cn/view-331667.html

以下为本文档部分文字说明：

LED工艺简介▪讲师：LED白光LED的前程LED芯片的实物照片LED发光管是怎样练成的衬底材料生长或购买衬底LED结构MOCVD生长芯片加工芯片切割器件封装Sapphire蓝宝石2-inch衬底片氮

化物LED发光管的器件结构及发光机理electrons电子空穴复合发光P欧姆接触N欧姆接触蓝宝石或碳化硅MOCVD外延蓝宝石缓冲层N-GaNp-GaNMQWMOCVD机台第一步清洗有机物金属离子第二步n区光刻爆光机刻蚀Cl2+Bcl3+ArPlasmal

abSystem133去胶3#液p电极蒸发蒸发机台P电极光刻P电极腐蚀KI+I2去胶丙酮+酒精P电极合金O2合金炉N电极光刻N电极蒸发N剥离N退火N2P压焊点光刻P压焊点蒸发P压焊点剥离钝化层沉积气体，功率PECVD机台钝化层光刻钝化层刻蚀钝化层去

胶丙酮中道终测检验减薄划片裂片扩膜▪划片,裂片工作流程图划片前晶片背面划片后背面划片后,侧视图裂片后,侧视图扩膜后,正视图测试分检测试机LED:What’sinside?electrodessemiconductorchipepoxydomebondwires“silvercup”re

flectorDesignGrowthProcessingPackagingCharacterizationApackagedLEDDifferentpartsofanLEDProcessflow:交通灯全彩显示RadiometryPhoto

metryPowerWatt(W)lumen(lm)PowerperunitareaW/m2lm/m2=lux(lx)PowerperunitsolidangleW/srlm/sr=candela(cd)Photometryisjustlikeradiomet

ryexceptthateverythingisweightedbythespectralresponseoftheeye光学知识Solidangle:sr=2(1-cos(θ/2))立体角:如何理解光通量(Lumen)和发光强度(Mcd)470nmLED:3000mcd(20mA)P*

62.139(lm)/Sr(15Deg)=3cdP*62.139/0.0537=3cdP=0.00259W=2.58mW市场上:谢谢大家！