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7/26/2023Page1LizhenghuaPF电子工厂设施的工程设计与控制PF李正华7/26/2023Page2LizhenghuaPF目录一：电子工厂总体概况简介(一)：工厂的净化工艺生产流程(

二)：配套设施及动力供给二：配套设施及动力供给的内容及要求(一)：净化厂房(二)：空调及净化(三)：给水排水(四)：电气、照明及通讯(五)：气体供给及配管(六)：安保及消防系统(七)：三废处理三：电子工厂管理软件要素(一)：操作运行(二)：人综合素质提高(三)：管理程序的科学性及条理性四：电

子工厂部分设施项目的技术参数及控制方法(一)：温、湿度及洁净度控制(二)：净化室性能及技术指标的介绍(三)：纯水生产工艺流程图(四)：氢氟酸废水处理工艺流程图(五)：生活污水处理工艺流程图(六)：高标准循环、冷却

水系统介绍(七)：气体配输(八)：废气的处理及排放(九)化学品的存放及配输(十)电气系统的配置及控制(十一)：消防系统(十二)：安全监控及防盗系统7/26/2023Page3LizhenghuaPF一：电子工厂总体概况简介工厂的净化工艺生产流

程1:生产用原材料1:生产用材料及辅料2：原材料气体3：清洗用药品、溶剂等4：生产用药品类5：其它2生产工艺及设备运行操作1:工艺设计1.1:理论设计1.2::电路设计1.3:图案设计2:掩膜工艺设计2.1:制作调制盘2.2::制作主板2.3

:制作光刻板3:芯片制作工艺3.1园片制作工艺3.11:拉单晶3.12:切片3。13磨片3.2C芯片制作造工艺3.21:氧化3.22:涂胶3.23:对版3.24:显影腐蚀3.25:杂质扩散3.26:离子注入3.27:CVD3.28:蒸发3.29:园片检查3.20:划片3.

211:IC芯片制成4:组装工艺4.1:装片4.2:健合4.3:压制4.4:打印5：检验工艺5.1:产品测试检验5.2:可靠性测试(一)7/26/2023Page4LizhenghuaPF一：电子工厂总体概况简介配套设施及动力供给2环保安全设备1:芯片制作工艺2:安全报警设备2.1:火灾报警系统

2.2:排烟系统2.3:安全防盗监控系统1：辅助材料及动力供给设备1:原材料供给1.1:压力气体容器辅助材料1.2:吸收装置及材料1.3:配管配线接头1.4:排气处理设备及材料2:生产用辅助材料2.1:净化气体供给2.2:厂房净化及温湿度控制2.3：压缩空气及真空供给2.4:用

水供给2.5：动力照明及电力供给2.6:安全监控及通讯供给2.7::配管配线1.1有毒气体类及处理1.1:有毒药品类及处理1.3:排水处理设备1.4:其它类处理设备(二)7/26/2023Page5LizhenghuaPF二：配套

设施及动力供给的内容及要求(一：)净化厂房设施前道工序：三层式上夹层：（风管、配管、电缆、自循环AH、高效过滤器及静压箱）中间工作层：（工艺设备及生产线）下夹层：（回风静压箱、配管、配线）1：结构型式后道工

序：二层式上夹层：（风管、配管、电缆、自循环AH、高效过滤器及静压箱）下工作层：（工艺设备及生产线）2:防震要求（前道工序）工作层面的基础及梁架为独立结构厂房围护、顶基础及梁架为独立结构此二者之间不能有硬接触3:防静电要求工艺设备操作地面为防静电贴面（一般为1X105－8欧姆，材料要

求发尘量小、防燃、防腐）工艺设备及特殊设备均要有接地装置，甚至单独的接地极4：布局要求：满足最佳的工艺流程及安全通道和物流的要求(二：)空调及净化1:温度控制（根据不同的工艺要求：22±1℃23±1℃25±2℃23±3℃2

3±6℃）2:湿度控制（根据不同的工艺要求：45－50%40－70%30－70%）3:净化级别要求：根据不同的工艺等极分为：0.1u1级10级;0.3u100级;0.5u100级1000级10K级100K级主要靠厂房设施、空调过滤器和换气次数来实现）4：新风（OA）4.1:满足排风

要求4.2:不小于总风量的10%4.3：每人每小时不少于30M34.4：满足正压要求必须同时满足所有要求5:排气及排烟常规及灾害有毒气体（需专用设备处理后排放）7/26/2023Page6LizhenghuaPF二：配套设施及动力供给的内容及要求(三

)：给水排水给水1:冼涤用超纯水、纯水2：冷却水及冷却循环水、软化水3：冷冻水及热水（蒸汽）4：消防给水、消火栓及及自动喷淋装置排水有害废水酸碱掩膜化学药刘其它杂质的排水冷却排水及普通排水、雨水(四：)电

气、照明及通讯1：动力配电及保护（配电站、配电电缆、备用发电机、UPS系统、漏电及接地保护）2：照明（室内外常规照明、防暴防水照明、应急照明）3：信息系统网络1:电脑局域网2：有线通讯系统3：有线内部广播系统4：无线局域通讯系统4：监控及报警系统

7/26/2023Page7LizhenghuaPF二：配套设施及动力供给的内容及要求(五：)气体供给及配管1：普通：（压缩空气、N2、O2、H2、He、Ar、CO2）2：工艺气体（掺杂气体）惰性气体（CHF2、SF2、He/O2）危险气体(SiH4、Sih2、Cl2)毒性

气体（B2H2、NF3）腐蚀性气体（HCl、HBr、Cl2)3：混配气（H2N2、288、44612、4816）4：真空管：工艺真空及吸尘真空）(六：)安保及消防系统1：防火报警系统：烟感、温感探头及消防控制系统2：门禁及监

控系统3：防通道及防火门4：室内外消防灭火设施：消防栓、自动喷淋系统、化学灭火器5：有毒有害气体及化学器的储存和传输配管材料及洁净要求均有各自的标准7/26/2023Page8LizhenghuaPF二：配套设施及动力供给的内容及要求(七：)三废处理1

:废水处理酸碱废水含氟废水各类化学品的特殊废水生活废水2:废气及噪音处理普通排气酸碱性气体排气（专用冼涤塔）有毒有害气体排放（专用燃烧设施及水淋处理室外冼涤塔）噪音处理：隔音室、吸音墙、消音器）3:废料及废物处理有害废料：专门收集、专门储藏、专门厂家来专门处理）普通废物：分类收

集、分类处理7/26/2023Page9LizhenghuaPF三：电子工厂管理软件要素(一：)操作运行1：严格的操作规程2：严谨的管理制度3：部门的职责、KPI控制4：相互部门的支持与协作(二：)人的综合素质提高1：专业培训（各工种）2：综合素质培训（知识面、视野的开阔）3：职业道德培训（主人翁

精神及自我环境保护意识）(三：)管理程序的科学性及条理性1：操作运行图表的制定（部门内、总门之间）2：PDCA循环(P:plan,D:do,C:check,A:act)3：控制质量（人、机、料、法、环五要素）环质量机人料法7/26/2023Page10Lizhen

ghuaPF四：电子工厂部分设施项目的技术参数及控制方法温湿度及洁净度控制温度控制附图1：冷媒源：冷水机组(制冷机组)。热泵机组、冷却塔2：热源：锅炉、热泵机组、电加热、厂外供热(集中供热或蒸气)3：AHU及

FCU：空调箱(过滤器、表冷器、风机)盘管风机(风机、换热盘管)4：配管设施：(风管、水管、泵、阀件)5：控制系统：传感器、控制器、执行器(电动阀、气动阀)湿度控制附图1：控制系统：传感器、控制器2：加湿：蒸汽加湿器、电加热喷雾加湿器、喷淋加湿器、混合加湿器3：去湿：喷淋

去湿(喷冷冻水)、表冷去湿、吸附去湿4：配套设施：配管、配电、阀件洁净控制1：厂房结构保证附图一般为三层壁板：耐腐、耐磨、发尘量少地板：耐腐、耐磨、发尘量少、防静电密封：硅胶、油槽。闭水无法橡胶气流平

衡：正压及控制过滤器的布置及测试2：空调系统保证1：换气量及换气次数及循五方式附图(1级、10级、100级为350--400次，1000级：70次/H，10K给、100K级为20--35次/环)2：过滤器的保证：初效、中效、亚高效、高效(0.1U)3：测试保证：根据给别要求分别取值(

距地面1M)4：正压、负压控制：洁净室一般要求为10--30pa3：人员及设备材料进出及5S管理1:洁净衣、帽、鞋，风淋及分级更衣2：及时吸尘清洗3：进入的器材需在隔断间除尘处理(一)7/26/2023Page11LizhenghuaPFDDC差压转换器差压显示器低功率转换开关

电动机DPSLPSLPIM层夹术技H2T6LL0MMR4R0DPSM5M4DPSLPSMMRR0SVFF0L0MLL1R0RMLPTDPSDPSLPTCCCH回风连锁新风渗露风量排风RTDPSH1T5房间TCCT3PTCHAXCHCCCCT2T1空调自控系统原理图7/26

/2023Page12LizhenghuaPF温度传感器湿度传感器防静电钢格栅地板高效过滤器下夹层工作层自循环风机上夹层回风管新风净化室结构示图7/26/2023Page13LizhenghuaPF(二：)净化室性能及技术指

标的介绍(1)：净化级别技术指标随着半导体器件尺寸越来越微型化，芯片的集成度大幅度提高，如超LSI(64Kbit)电路线宽为3u(即头发丝的1/30)而集成度为256M的电路的线宽为0.25u。成度为4G的电路的线宽为仅为0.

13u，所以灰尘粒子的数量及直径要求也越来越高，也就是净化度的要求对完善产品质量的影响也越来越大关于净化室有灰尘(下称为粒子)，即净分度：美国国家标准NO。209(净化室和净化工作台的环境控制规格)，同样还有NASA。NHB5340。2。196)-02(NASA标准为用于净化室和净化工作台的

Microfially环境控制)。德国有VDI(西德工程师协会)2083第1号，1976-12(高纯真空技术基础定义和纯度等级规定)。日本有JISB9922标准目前，人们通常采用是NASA(美国航空和宇航局)标准。它的最高级别为100级即

在1ft3(相当于30cm立方体的的体积中要求直径0.5u的微粒个数在100个以下。而我们的办公室同样的粒子则有100万个之多净化室的构造：周围的墙壁和天棚上均有超高性能的过滤器(HighEfficien

cyParticulateAirFilter-HEPA),由此过滤器净化的空气以20--400次/H的速度循环流动随着半导体器件制造工艺技术的发展，对净化度的要求也越来越高，0.3u、0.2u、0.1u、100级、10级、1级均已广泛得到采用7/26/2023

Page14LizhenghuaPF注：所有的技术夹道均为1000级设备净化间23±2°C10000级20Pa走廊<28°C1000级50±10%25Pa走廊工作走道前室公共设施1000级<28°C25Pa23±2°C100级45±5%30Pa23±2°C10级45

±5%30Pa清洗间技术夹道设备间技术夹道技术夹道技术夹道技术夹道技术夹道技术夹道技术夹道技术夹道技术夹道23±2°C50±10%10000级20Pa物料净化间23±2°C50±10%10000级25Pa测度间

23±2°C45±5%100级30Pa离子注入间23±2°C45±5%100级30Pa金属化间23±2°C45±5%100级30Pa清冼间23±2°C50±10%100级30Pa干法刻蚀间22±1°C40-45

%10级35Pa高压氧化间23±2°C45±5%100级30PaCVD间23±2°C45±5%100级30Pa扩散间23±2°C45±5%100级30Pa扩散间23±2°C45±5%100级30Pa干法刻蚀间2

2±1°C40-45%10级35Pa技术夹道45678910CT1/Q1/P1/N1/ML走廊典型的芯片制造厂房实例(平面布置、净化及温湿度、正压控制参数)7/26/2023Page15LizhenghuaPF三：电子工厂部分设施项目的技术参数及控制

方法(三：)纯水生产工艺流程图城市自来水隔断水槽预处理水槽多介质过滤器水泵水泵一级反渗透（RO）水泵透过水箱真空脱气塔水泵混床紫外线杀菌器二级反渗透去离子水槽水泵热交换器抛光混床微孔过滤超滤紫外线杀菌器用水点冷冻水热交换器抛光混床微孔过滤超滤紫外线杀菌器用水点蒸

汽>1/3总水量的不间断回流水DIwater可以达到的标准•比电阻＞＝18.2M欧/cm•微粒子（粒/ml＞0。05um<1•生菌（个/ml)＜0.001•TOC(mgc/L)<1•SiO2(mg/L)<0.1•溶解氧（mg/L)<5•氯化物（/L)<0.01•钠（

mg/L)<0.01•铁（mg/L)<0.01•锌、铜（mg/L)<0.017/26/2023Page16LizhenghuaPF三：电子工厂部分设施项目的技术参数及控制方法(四：)氢氟酸废水处理流程图（注：含氟废水是电子工业排量最大的废水）含氟废

水均衡池3级反应池2级反应池1级反应池快速混和池凝聚池4级反应池沉淀池5级反应池凝聚池淤泥贮存池压滚机砂滤池沉淀池最后均衡池干泥运出排放石灰硫酸/.醋酸凝聚剂Al2(SO4)3Na4P4O12滤水1：废水进

水水质PH＝1－－5HF：470mg/L2：经两级处理后排放水质PH＝6.5--8.5SS<10mg/L[F-]<10mg/L7/26/2023Page17LizhenghuaPF三：电子工厂部分设施项目的技术参数及控制方法(五：)生活污

水处理工艺流程图生活污水格栅沉淀池定量投配槽潜水泵调节水槽沉淀池曝气池消毒池二次沉淀池排放污泥浓缩池污泥泵污泥脱水机干泥回收（肥料）•污水进水标准•COD：200----400mg/L•BOD5：150----250mg/L•SS：200----400mg/L•处理后排

放标准•COD：<100mg/L•BOD5：<30mg/L•SS：<70mg/L7/26/2023Page18LizhenghuaPF三：电子工厂部分设施项目的技术参数及控制方法(六：)高标准循环冷却水系统介绍1：使用对象：芯片制造的精密设备(冷却水管口径小，均精密铜合金或不锈钢管，微小的堵塞均

带来无法弥补的损失)2：冷却水质：低度DIwater(20K--100K比阻值的纯净水)热交换器带过滤排气呼吸孔水调节箱补充水循环泵回水供水冷冻水温度传感器用户控制器注意事项：•调节水箱尽可能大，材质为不锈钢•循环管道、热交换器均为不锈钢材料，防止锈浊和污染•供水水温控制在16--24度为最佳•补

给水要求为D!waterstation的第1级RO之过滤水7/26/2023Page19LizhenghuaPF冷冻干燥机15U过滤器储气罐PDP=-30°CP=6.0--6.6bar生产线除尘吸收式干燥机除油压力传感器控制空压机启停及荷载P=6.4--7bar冷冻干燥机空压机(n)空压机(1)(

七)各类气体配送1:压缩空气配送压缩空气配送流程图7/26/2023Page20LizhenghuaPF2:高纯N2、H2、O2、等气体配送气源再生用H20.1U过滤器SUS304--SUS316L不锈钢用触媒反应吸收法：硅胶、氧化铝分子筛去水份去杂质催化剂：金属钼、钡、锶

SUS316LEP级0.03U过滤器用气设备气体终端净化器注：气体净化器入口条件H2O：10PPmO2：5PPmCO2：2PPmD.P：－600C杂质纯度：99.99%出口参数H2O：＜0.5PPmO2：<0.1PPmCO2：<0.4PPmD.P：－800C杂质纯度：99.99999%(0.

3U以上尘粒100%除去)7/26/2023Page21LizhenghuaPF高压瓶洗涤塔排放排风金属管洗淋塔尾气燃烧室尾气排出SUS316LEP工艺设备气体瓶柜N2报警器强排风换瓶吹扫放空3：掺杂气体配送及处理流程图7/26/2023Page22

LizhenghuaPF排放废气吸附过滤装置噪音消音箱排风机排放酸或碱中和溶液(八：)废气的处理排放A：一般酸性或碱性气体的排放使用有溶液喷淋的洗涤塔（详见下图）B：腐蚀性气体的排放：风管用PVC管（HF气体禁用玻璃钢风管＿通至室外用配制溶液喷淋的洗涤塔

处理后经测试合格排放C：剧毒性气体：详见掺杂气体的传输D：易燃及易爆气体的排放：金属管，排出端安装阻燃器，室外放空燃烧或直接排放7/26/2023Page23LizhenghuaPF(九：)化学品材料的存放及配输1：化学品材料的存放A：化学品库应单独设计建造

，并在材料、设施上要有防火、防爆等要求和发生事故时的应急设施B：各类不同的化学品应分类存放。如：酸碱不能共放，酸和易燃品不能共放，氧气瓶和氢气瓶不能同室C：化学品存放时应盖紧盖子，液体类应设置防漏托盘。D：每只化学品包装外

都有完整的标签，包括物品名称及其特性，如表明易燃、易爆、腐蚀、有毒等。E：易燃品应存放大由阻燃材料（如金属）制成的密封柜中，易爆的气体类应放在有良好通风的环境中F：掌握正确的操作方法。工作时要穿戴好合适的防护用具，熟知突发事故时的应急对策2：化学品材料的配制与传输

现代化的超净电子厂房内。工艺中需要许多品种的化学品材料，如象以前一样从化学品领取通过各层净化通道送至工作点，非常麻烦且不安全，下面介绍一种输送装置A：工艺间外化学品库配制标准液（在设备内洁净条件下配制）B：用N2薄膜泵、洁净双层管压送使用点C：配制设备和使用点均有计算机联机控制D

：沿线均有防漏测试报警7/26/2023Page24LizhenghuaPF使用设备使用设备电子控制器电子控制器使用设备电子控制器双层套管高效过滤器DDC标准溶液薄膜泵标准称重化学品2化学品1净化空气泄漏报警器排风控制器化学品配制及传输示图7/26/2023Page25

LizhenghuaPF(十)电子厂房电气系统配置及控制1：电力线路的配制1：主供线路和双向配置主供：外供的可靠的主要电源副供：特殊情况下，主供电源停供时，另一备用电源2：自备发电机组：根据厂房内最主要的不可断供电的设备扩设施（重要生产线、冷库、网络主机及不可少的动力设备）来配制

3：UPS系统：主供最重要的网络系统、通讯系统及其它影响特大的重要设施4：接地保护系统：防雷、防静电、防漏电5：特殊部分部分的防爆措施2：安全用电的控制1：控制柜对用户可控性的完善，以便在事故、维护、和扩建时停电面尽量减少2：控制柜、电

缆、电线、插座、继电器、漏电保护及接插件等均要根据各线各点及用电负荷可靠设计，配置完善。并严格按电气规范安装3：按电气规范，定期测试，定期维护和检修（如变压器油定期化验及添加、接地电阻定期检测，继电器、漏电保护要定期维护、发电机定期开机试验及检查，UP

S电池定期更新）4：电气设备的防爆措施A：隔离电火花与危险环境，加强防爆壳和防爆结构的严密性和强度B：稀释危险源：加强通风换气，减少热源C：严格控制危险气体的泄漏及完善报警系统D：处理危险气体泄漏时，应尽量在关闭现场电火花源（电源）和热

源。3：介绍安全用电方面的知识1：电气接地简介1.1：电气接地的概念7/26/2023Page26LizhenghuaPF电气接“地”简介1：电气“地”的概念大地是一个电阻非常低，电容非常大的物体，拥有吸收无限电荷的能力，而且在吸收大量电荷时仍能保持电位不变，因此挞合作

为电气系统中的参照电位2：地电位与大地紧密接触并形成电气接触的一个或一组导电体称为接地级，通常采用圆钢或角钢，也可用铜片或铜板如图所示为接地极示意图接地极I流散区接地极流散区大地图1“地”的示意图流散区：指电流通过接地极流向大地时，

产生的有电位变化梯度的土壤范围地电位：指流散区以处的土壤范围试验证明，当对地电流流入大地时，在距单根接地檄或碰地处20米以外的地方，已不再有任何电压降，即此处的电位已近于零3：接地将电力系统或电气装置的某一部分经接地线连接到接地极，称为接地4：接地的作用A：防止人身遭到电

击B：防止设备和线路遭到损坏C：防止火灾和雷击D：防止静电损害E：保障电力系统正常运行7/26/2023Page27LizhenghuaPF电气接“地”简介5：接地的种类A防电击接地－－－即保护接地，通过保护开关动作达到

保护目的B：防雷击接地－－－把雷电流引入大地C：防静电接地－－－将静电荷引入大地D：防电蚀接地－－－地下埋设金属体作为牺牲的阳极，保护电缆、管道E：工作接地－－－交流系统一般为中性点接地，使系统输出稳定电压F：逻辑接地－－－确保电子设备信号具有稳定的参数电位G：电磁屏敝接地－－－将电气干挠源引

入大地6：低压系统的接地制式按IEC（国际电工委员会）规定，分为TN－S、TN－C、TN－C－S、TT、IT五种，国际上，德、英、法完全采用IEC标准，我国等效采用字母含义：L：相线N：中性线PE：保护线PEN：保护中性线L1L3L2PEN外露导电

部分图2TN－C系统L1L2L3配电系统接地点外露导电部分PEN配电系统接地点N图3TN－S系统A：TN－C系统的组成和特点（图2）（1）：中性线N与保护线PE合二为一成PEN线，与配电系统的接地点相连。所有的电气设备的外露导电部分接到PEN

线。（2）：简单。经济（3）：PEN线中有电流，对敏感的电子设备不利B：TN－S系统组成和特点（图3）（1）：保护线与中性线N分开，并都与配电系统的接地点相连，所有的电气设备的外露导电部分接到PE线。（2）：造价较高（3）：PE

线无电流，安全性好，干挠小（4）：适用于精密电子设备的供电（5）：我公司采用此制式7/26/2023Page28LizhenghuaPF电气接“地”简介图5TT系统NPEAL1L3L2PEN配电系统接地点L1NL3L2图4TN－C

-S系统外露导电部分PE配电系统接地点外露导电部分C：TN－C－S系统的组成和特点（图4）（1）：PEN线自A点起分为保护线和中性线（2）：此系统广泛得到采用，结构简单又能保证一定的安全水平D：TT系统的组成和特点（1）：电源有单独的接地极，电气设备的金属外壳用单

独的接地极接地，与电源在接地上无电气联系（2）适用于对电位敏感的数据处理设备和精密电子设备的供电E：IT系统的组成和特点外露导电部分(C)L2L1PEL3PEL2L1L3PE外露导电部分(A)L2L1L3外露导电部分(B)图6IT系统（1）电气不接地或通过阻

抗接地。电气设备的外露导电部分可直接接地或通过保护线接到电源的接地极上。（2）：此种系统出现第一次故障时（如相线碰地），故障电流受到限制，电气设备的金属外壳上不会发生危险的接触电压，因此可以不切断电源，电气设备尚能继续运行。（此系统必须配备录敏的声光报警装

置7/26/2023Page29LizhenghuaPF电气接“地”简介7：接地电阻的阻值的一般要求（1）：工频交流接地＜＝4欧姆（2）：防雷接地＜＝10欧姆（3）：防静电接地＜＝100欧姆在易燃烧区域＜＝30欧姆（4）电子设备接地＜＝4欧姆

（5）若工频交流接地、防雷接地、电子信号接地采用同一根接地极，且要求＜＝1欧姆（6）专用接地的要求应根据设备要求，但不应大于以上数值7/26/2023Page30LizhenghuaPF电气接“地”简介注:安装漏电保护器(RCD):一定要在零线和保护线分开的条件下才能

装I1供➢1漏电保护器的工作原理是测定供电线路的I2回若I1≠I2即在该系统中有漏电,则触发器指挥供电开关跳掉断电➢2四线制的供电系统不能装漏电保护器(RCD),因为除了相线外,地线与保护线为同一根线,所以在测定回路电流时,搞不清有多少是外壳接地走掉的,所以就不能装RCD➢3五线制为零线

与保护线分开•家庭的用电仅是两相:相线(火线)与零线相线零线•五线制的情况是L1L2L3NRCDRCDPE7/26/2023Page31LizhenghuaPF电缆,电线及配电装置安装接线标准事项:一.三相电:L1黄L

2绿线标准色一般来说:末端只要分清火线,地线亦可,线颜色L3红标准色最好,不是标准色,地线是蓝色即可N蓝PE黄绿二.单相电:L黄,绿,红,棕,白任意N蓝PE黄绿三.大配电柜:L1L2L3(变压器)ABCN(中心线)一般在电气柜的母排上均是这样要求的黄绿红黑色电器设施及安装技术经验实践小

结7/26/2023Page32LizhenghuaPF四.电动机的接法123PE相线接接线端子接地外壳用PE线联接L1L2L3而N线不联接➢1接好通电后发觉反转,即任意两根相线调换一下即可➢2有些重要设备:如压缩机等机器不可反转,所以要在通电前用测量仪表把相序,相位搞正确后,才能通

电试运转.有些重要设备内部有设置相序相位保护,所以通电后开不起来,不一定是其他毛病,而可能是由于相位不对所引起➢3有些外国进口的电柜及大的用电设备,标有ABC三相接线前特别注意相线RYB和地线不能错红黄蓝(字母

意,不是地线)➢4母线排直观:abcN黄绿红黑电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page33LizhenghuaPF五.漏电保护器的接法及特性六.1.漏电保护器(RCD)本就是一个受电流控制的

开关七.a.单相接二根线路L(相线:黄,绿,红,棕,白…任意)八.N(蓝色或蓝色套管)b.小容量RCD≤100A:受电流开关c.大容量RCD≥100A:用漏电继电器控制主开关c.一般工厂的电柜(较大的

)除了漏电保护,还有过流继电器保护,特别是柜后接大功率马达,设备的控制柜,电柜中一般普通的空气开关,有二种功能:d.短路保护:一般要超过受控电流10倍(受控的额定电流)才会跳闸e.过流保护:根据过流的程度(发热)来确定的,如1.1倍

额定电流,则要几十分钟才跳电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page34LizhenghuaPF六.配电中常用导线的型号,特性及用途1.BVR型:铜芯,聚氯乙稀(PVC)绝缘软电线:一般为19根綑为多,2.总线经在6mm2以下,用于工厂配电一般用于3

.2.BV型:铜芯,聚氯乙稀(PVC)绝缘硬电线:工厂大截面用的较多,低压动力4.一般为10mm2以上设备的固3.BVV型:双护套绝缘,单芯PVC护套圆型电线两层绝缘,用在特种地方定敷设4.BVVB型:平形电线:,也有,家庭配线用的

较多5.RV型:特软电线,用于耳机等联线6.RVS型:双绞线型:可用作讯号线,能起一定屏蔽作用用于低压家电,小型7.RVV型:PVC/PVC软圆电线移动电器,仪器仪表线8.RVVB型:软线电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Pa

ge35LizhenghuaPF9.电缆:均为多股线,(只有小于6mm2时,才有单股线)a.YZ型:中型橡皮电缆,适用于移动设备或临时线(一般为10mm2左右)b.VV型:经≤16mm2,用于固定设备及电器安装,使用相当广泛c.YJV型:经＞16mm2,

大截面配线电缆,一般用于(交联型绝缘,复合型材料绝缘)广泛的大功率配线七.导线截面S于(设计)电流的对应关系:八.1.5mm210A;2.5mm220A;4mm225A;6mm232A;九.10mm245A;16mm263

A;25mm280A;35mm2100A;十.50mm2120A;70mm2160A;95mm2200A;120mm2230A;十一.150mm2270A;185mm2350A;240mm2400A;300mm2470A;十二.400mm2

560A;500mm2670A;630mm21000A;630×2mm22000A;•线经较小一般为电线,线经较大用电缆了•一般电线后配置相应容量的开关或其他继电保护装置•电缆一般为单芯多股绞联而成,绝缘及保护等级

根据用途及场所而定•为最常用的规格电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page36LizhenghuaPF八.配置设备额定电流估算及安装技术要求:➢1电动机额定电流估算:电动机功率×2=估算的额定电流如:10KW(

电动机)×2其额定电流I≈20A➢2电缆及电线在电缆槽及穿线管内所占断面的要求应小于断面的40%即:总断面S断面应≤40%S➢3.常用导线估算价格:3mm2/M一般为1元钱,如:2.5mm2导线出厂价一般为0.7

~0.8元/M➢4.线槽一般用1.5mm厚铁板制作,壁上无孔,内敷多束电线宽＜200mm➢5.桥架宽＞200mm,用2mm厚铁皮制成,加盖,侧边有散热孔内敷相对较粗的电缆电器设施及安装技术经验实践小结7

/26/2023Page37LizhenghuaPF➢6.梯架:电缆及电线➢7.托盘:铁皮制作(镀锌喷漆),无盖,敞开➢8.货柜式电控柜价格估算:以电柜外壳体表面面积估算300元/M2,内部配置根据内容另算➢9.线

槽及桥架安装要求：a.所有线槽外壳联结接地b.线槽内导线不准有接头(防止接触不良和发热)c.排线断面＜40%电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page38LizhenghuaPF九.配电时线路的RCD保护时应考虑的:1.配置的R

CD应满足线路的泄露电流(否则会无休止地乱跳或不跳)2.配置的RCD应满足设备的泄露电流(否则会无休止地乱跳或不跳)说明:日本有个原则:系统泄露电流≤最大电流的1/2000而中国规定一般的RCD为500mA3.一般设计时的泄露电流估算:a.泄露电流:荧光灯/1支≤0.1mA导线3~8mA/1

00M电动机0.3~2mA/只(注:电动机启动时要增加5倍)可调最大漏电电流b.RCD:本身是可调的可调泄露时间电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page39LizhenghuaPFc.设计安装RCD注

意事项:•设计时为了不影响其他设备,往往一台设备设计为一个回路,设置一个RCD,即泄露电跳掉后不会影响其他•一般漏电保护的时间设定为0.1秒~1秒,大部分为0.4秒~0.8秒,若保护电流相同,则后级时间应大于前级电器设施及安

装技术经验实践小结7/26/2023Page40LizhenghuaPF十.常用电器产品配置:永磁式:如家用剃须刀,收录机等他励式:另一组通电系统激励线圈来激励电动机启停直流并励式:用于电瓶车等电动机串励式:用于

过载能力特强的系统1.电动机复励式:用于较复杂的控制电机三相:三相异步电动机(目前最常用的电动机)交流串励电动机:用于电动工具,吸尘器等电动机单相内有一定的阻尼减速器(如齿轮组等)电阻分相式电感电容:如电

扇,洗衣机等电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page41LizhenghuaPF2.配电开关:•油开关一般用于高压上真空开关•万能开关:如常用的型号:ME型(上海人民电器厂生产),可以接各类继电器塑壳开关:CME型(常熟开关厂,华通)靠空气来灭弧断电•空气开关:微型断路器:进口较多

(西门子,ABB,梅兰日兰等)电器设施及安装技术经验实践小结7/26/2023Page42LizhenghuaPF微型断路器一排排工厂常用的,很紧凑引起发热主要原因:a.质量不好b.容量考虑不足D型:电动机型,

7倍于起动电流C型:照明灯,5倍于起动电流接触器:主要起控制起动作用CJ10(此种已不太用),CJ12B,CJ20(目前常用)因对于电流大的用电器,光靠闸刀去通电,电弧大,人有时还会推不上,不安全另:对于特别大的电动

机或其他特别用电,还要用继电器中间继电器:当大于30个时,要用PLC(集全继电器组)控制热继电器:双金属片,防止电动机过热时间继电器:延时保护液位继电器:如浮球接触接触器去接通或断开电源电器设施及安装技术经验实践小结按钮7/26/2023Page43L

izhenghuaPF补偿电容:a.作用:电流最大,电压最高,往往不是同步的,所以有一部分时间会无功,加了电容后可以弥补,使线路工作正常b.设置考虑:集中补偿是均需要的(如变压器端),单台设备可以不要c.补

偿电容:16KVar可以提高功率因数,一般要求0.9以上,一般1为最好,超过1也不安全,0.9~1为最佳(400V:1KVar=19.9uF)d.电表±2%铜排互感器±0.2%调整电容器补偿功率因数0.9~1最佳电器设施及安装技术经验实践小结7/26/20

23Page44LizhenghuaPF(十一)电子厂房防火消防（1)：防火消防系统的内容A：室外室内消火栓(室外间距<=120M，室内间距<=30M)B：消防水池、水箱及水泵给水器C：预作用阀的水喷淋系统(详见图)C1：水池、水泵。预

作用阀。压力报警器、水流措示器、玻璃球感温喷头、管网、阀件C2：温感、烟感探头C3：消防控制装置：联锁、空调防火阀、送风调节阀、排烟等D:手提式或手推式CO2卤代烷(1211，1301。。。)灭火器E：防火分区，防火通道、防火隔离门F：火灾排烟系统(

(详见图)7/26/2023Page45LizhenghuaPF温感烟感报警装置空调防火阀排烟控制阀玻璃喷淋头排污阀排气阀水流警铃缓冲罐预作用阀警铃控制器水流指示器电接点压力表小型空压机水泵消防水池预作用

阀水喷淋系统示意图7/26/2023Page46LizhenghuaPF控制器控制器M1stFloor2NDFloor高温风机DDC3NDFloor板式排烟口控制器电动风阀单向阀加厚保温排烟管火灾排烟系统示意7/26/2023Pa

ge47LizhenghuaPF(十二)安保监控系统简介1：门禁系统：密码系统、指纹识别、眼膜识别、重量识别、保安人员认工识别等2：电视录象监控系统：定点式、移动式3：远红外监控系统：探头、控制器及报警器(与电视监控连接)4：墙

壁窗户防凿系统：防凿壁板。震动感应器、玻璃破碎感应器5：电脑安全系统：通过密码方式传输信息6：通讯保密系统：同上7：应急电源及应急照明系统8：安全门紧急逃生系统